DSN-MFM热式气体质量流量计

　　标准量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM； 0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM；
　　准精度：±1％F.S；
　　重复精度：±0.2%F.S
　　响应时间：电特性 ＜10sec
　　气特性＜1～4sec 气体流量控制器线性：±（0.5～1）％F.S
　　工作压差范围：0.05～0.3MPa
　　气体流量控制器耐压：3，10MPa；
　　工作环境温度：5～45℃
　　输入输出信号电压：0～+5.00V
　　电源：+15V500mA、-15V500mA(输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA)
　　电连接器：D14pin
　　外形尺寸：130*28*121mm
　　重量：约1.0kg
　　接口尺寸：Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞.... VCR接头：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........