相关说明:
流量规格(N2): (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM;
(0~1、2、3、5、10、20、30 )SLM
准确度: ±1%F.S.
线性: ±0.5%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
响应时间: ≤1Sec
工作压差范围: (0.05~0.3)MPa
较大耐压: 10Mpa
工作环境温度: 5~65℃
电气连接: 8 针(小型圆插头)
输入/输出信号 Digital:RS232/RS485 ; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
电源: 6~16VDC ;1A
标准接头: Swagelokφ6;Swagelok 1/4″;VCR1/4″