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气体质量流量器
DSN-MFC微小气体质量流量控制器

DSN-MFC微小气体质量流量控制器

  • 简介:

相关说明:
  标准量程(N2);0~1,5、10,50,100,200,500,1000sccm;
  准精度:±1%F.S;   重复精度:±0.2%F.S
  响应时间:电特性 <10sec 气特性<1~4sec
  线性:±(0.5~1)%F.S  工作压差范围:0.05~0.3MPa
  耐压:3,10MPa;  工作环境温度:5~65℃
  输入输出信号电压:0~+5.00V(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA
  电源:+15V500mA、-15V500mA电连接器:D14pin
  外形尺寸:130*28*121mm
  重量:约1.0kg
  接口尺寸:Swagelok :Φ3.Φ6.Φ1/16〞Φ1/8.....
  VCR接头:Φ1/4〞.Φ1/8〞........
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